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            重慶碳化硅坩堝廠家

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            石墨坩堝燒成過程一般有這四個部分

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            石墨坩堝燒成過程一般有這四個部分

            發布日期:2018-12-11 作者: 點擊:


               石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發展大規模集成電路必不可少的基礎材料。當今,世界半導體工業發達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節約能源、質量穩定等優點。

                目前,用石英砂泥漿注漿成型方法生產的石英坩堝,一般為方形或長方形,多晶硅鑄錠用的石英坩堝,一般為方形或長方形,石英砂泥漿注漿模具,設計的一般為方形或長方形形狀。同時大多數石英坩堝為單層結構,并且由于方形或長方形在相同壁厚的情況下,直徑越大抗壓能力越低,因為直徑約大,受力面積越大,所以可以耐壓能力越低,因此,底部壓強大,當底部直徑小,有利于提高容器的耐壓強度,由于以往的石英坩堝為方形或長方形,其底部抗壓能力偏低,當使用者有誤操作的時候,極易出現石英坩堝變形的現象,大大影響了正常拉晶,嚴重時將無法拉晶,同時溶料中發生鼓包的問題,當鼓包較大時,在拉晶過程中隨著液位的下降,鼓包會漸漸露出液面,這時已經拉出的晶棒會碰擦鼓包,如不及時停爐會發生晶棒跌落的嚴重事故。


            有關石墨坩堝燒成的基本過程,可分以下四個階段來說明:


             

            1、預熱烘烤階段

            窯爐溫度在100~300℃,是石墨坩堝|石墨匣缽坯體排除殘余水分的過程。窯項天窗應開啟,升溫時速度應緩慢,特別是當石墨坩堝|石墨匣缽中殘余水分超過3%時,應嚴格控制溫度,沓則易發生坩堝裂紋和炸罐事故。

             

            2、低溫燒成階段,400-600℃

            系坩堝燒結的低溫階段。隨著窯溫的升高,坩堝中的結合水開始分解和排除。粘土中的主體成份A1203和Si02,一度形成游離狀態:坩堝外表釉層尚未熔化,升溫速度仍應緩慢進行,如若升溫速度過快和不均勻,同樣也易發生炸罐和塌垛事故。

             

            3、中溫燒成階段:700-900℃

            這時,粘土中非晶形A1203,可能部分轉化成y型結晶Al203在窯溫逐步升高的情況下,以游離狀態而存在的Al203和Si0',便結合成堅硬的硅酸鹽的固化物(又稱百化過程),把坩堝中的石墨,熟料連接固化為整體。在石墨加工中溫燒結過程中,石墨坩堝|石墨匣缽的外表釉層隨著溫度的升高逐漸溶化,形成一層玻璃狀的釉膜,封閉或覆蓋于坩堝表層,保護著坩堝不受氧化。這期間升溫速度應快’窯中火焰以還原焰為佳。

             

            4、高溫燒成階段:

            此階段溫度為iooo-1200cc。此時坩堝中的粘土經中溫燒結形成固化后,逐步向莫來石轉化。這期間升溫速度應比中溫時加快(俗稱放大火過程),窯中火焰應控制為中性焰或還原焰。坩堝在高溫燒結過程中,釉層巳完全熔化,形成玻璃狀釉膜,封閉于坩堝外表。若燒結溫度超出釉料較高溫度限度,易流脫造成坩堝的氧化。因此,在高溫燒結過程中’應注意觀察石墨坩堝|石墨匣缽釉層熔化狀況,避免由于過燒而達不到燒結的目的。在坩堝燒結過程中,由于可塑性耐火粘土的熱效應作用把石墨、熟料固結為具有一定的機械強度的整體。




            相關標簽:重慶石墨坩堝

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